진공 펌프는 기계적, 물리적, 화학적 또는 물리화학적 방법을 사용하여 용기를 비우고 진공을 생성하는 장치 또는 장비입니다. 진공펌프는 간단히 말하면 밀폐된 공간에서 진공을 개선, 생성, 유지하기 위해 다양한 방법을 사용하는 장치입니다.
(1) 넓은 압력 범위에 걸쳐 상대적으로 높은 펌핑 속도를 갖습니다.
(2) 로터의 기하학적 대칭이 양호하여 진동이 적고 작동이 원활합니다. 로터 사이 및 로터와 케이싱 사이에 틈이 존재하므로 윤활이 필요 없으며 마찰 손실이 최소화되고 구동력이 크게 감소하여 더 높은 속도가 가능합니다.
(3) 펌프 챔버 내부에는 오일 실링이나 윤활이 필요하지 않으므로 진공 시스템의 오일 증기 오염이 줄어듭니다.
(4) 펌프실 내부에는 압축 밸브나 배기 밸브가 없습니다. 구조가 간단하고 콤팩트하며 펌핑된 가스의 먼지와 수증기에 민감하지 않습니다.
(5) 압축비가 상대적으로 낮아 수소에 대한 펌핑 효과가 좋지 않습니다.
(6) 로터 표면은 상대적으로 복잡한 곡면의 원통형 표면이므로 가공 및 검사가 어렵습니다.
